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3D共聚焦顯微鏡的作用及測量方式
3D共聚焦顯微鏡
采用多孔共聚焦技術(shù),結(jié)合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞,再將物鏡垂直移動,以類似斷層攝影方式,可在短時間(約幾秒)內(nèi)**量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式,不會破壞樣品的表面,不需要在真空環(huán)境下測量,也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本,其在嚴酷的工作環(huán)境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在測量漸變較大的高度時,跟其他方法相比,可以更**量測物體高度,建立3D立體影像,優(yōu)勢相當明顯。
一個特殊改裝的固定工作臺可以承載大體積高重量的測試物體,結(jié)合一個可以自由移動的滾輪式工作臺,μsurf mobile移動式3D測量系統(tǒng)可以輕易的傳輸并且設(shè)置在任意一個地方進行使用。μsurf mobile特別為大體積樣品的測量而開發(fā)。例如,軋輥和車身。由于其便攜性,它非常適用于工廠的在線檢查。μsurf mobile移動式3D測量系統(tǒng)只需幾分鐘準備便可進行測量,并且可以方便地架設(shè)在測試對象上--因為它的重量只有5公斤。根據(jù)不同測量要求可以編輯不同的應(yīng)用方案。配有鼻輪和專業(yè)解決方案軟件的μsurf mobile移動式3D測量系統(tǒng)可滿足了各種各樣的測量任務(wù)。
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